F. MONSIEUR, E. VINCENT, D. ROY, S. BRUYERE, G.PANANAKAKIS, G. GHIBAUDO, "Determination of dielectric breakdown Weibull distribution parameters confidence bounds for accurate ultrathin oxide reliability predictions", ESREF'2001, pp. 1295-1300.

F. MONSIEUR, E. VINCENT, D. ROY, S. BRUYERE, G.PANANAKAKIS, G. GHIBAUDO, "Determination of dielectric breakdown Weibull distribution parameters confidence bounds for accurate ultrathin oxide reliability predictions", ESREF'2001, pp. 1295-1300. Copyright - [Précédente] [Première page] [Suivante] - Home

Article : [PAP376]

Titre : F. MONSIEUR, E. VINCENT, D. ROY, S. BRUYERE, G.PANANAKAKIS, G. GHIBAUDO, Determination of dielectric breakdown Weibull distribution parameters confidence bounds for accurate ultrathin oxide reliability predictions, ESREF'2001, pp. 1295-1300.

Cité dans :[REVUE279] Elsevier Science, Microelectronics Reliability, Volume 41, Issues 9-10, Pages 1273-1736, September - October 2001.
Cité dans : [DATA227] ESREF'2001, 12th European Symposium on Reliability of Electron Devices, Failure Physics and Analysis, Arcachon, France , 1-5 octobre 2001.

Auteur : F. MONSIEUR (1)(2)
Auteur : E. VINCENT (1)
Auteur : D. ROY (1)
Auteur : S. BRUYERE (1)
Auteur : G. PANANAKAKIS (2)
Auteur : G. GHIBAUDO (2)

Adresse :
(1) STMicroelectronics, Central R&D labs, 850 rue Jean Monnet, BP16, 38926 Crolles, France
(2) LPCS/ENSERG, UMR CNRS 5531, 23 rue des Martyrs, BP257, 38016 Grenoble, France
Tel : +33-476-925-053
Fax : +33-476-926-444
Lien : mailto:frederic.monsieur@st.com
Source : ESREF'2001 - 12th European Symposium on Reliability of Electron Devices, Failure Physics and Analysis - Arcachon - France.
Date : 1-5 octobre 2001
Site : http://www.elsevier.com/locate/microrel
Pages : 1295 - 1300
Lien : private/MONSIEUR.pdf - 6 pages, 261 Ko.

Abstract :
This paper focuses on reliability methodology for ultrathin oxides. It is clearly shown that not only the sampling,
but also the oxide thickness impacts on the accuracy of the T50 (50% cumulative failure rate time-to-breakdown) and
the beta (Weibull slope) determination. An abacus is proposed to model confidence bounds and conclusions are drawn in
terms of procedure to design more efficient and test-time-minimized TDDB experiments for rigorous reliability predictions.

Bibliographie

Références : 11
[1] : R Degraeve et al., IEEE/IEDM Tech. Digest, 327(1999)
[2] : S. Bruyere, E Vincent, G Ghibaudo, IEEE/IRPS, 48 (2000).
[3] : F. Monsieur, Micro & Reliab (to be published)
[4] : E. Wu proceedings IRW 2000
[5] : G Barbotin et al., Instabilities in silicon Vol 1, 1986
[6] : B.P. Linder et al., Proc. IRPS 2001, pp 168
[7] : J. Jacquelin, IEEE Trans. Elec Ins. 28(1), 1993
[8] : J. Jacquelin, IEEE Trans. Elec. Ins. 3 (6), 1996
[9] : J.Jacquelin, IEEE Trans. Elec. Ins. 4(1), 1997
[10] : M. Sergent et al., Chem. And Intel. Laboratory Systems, 1995, 27, pp 153-162
[11] : Weir et al. IEEE/IEDM Tech. Digest, 437 (1999)

  [1] :  [PAP158]  -------
  [2] :  [PAP158]  -------
  [3] :  [PAP158]  -------
  [4] :  [PAP158]  -------
  [5] :  [PAP158]  -------
  [6] :  [PAP158]  -------
  [7] :  [PAP158]  -------
  [8] :  [PAP294]  J. JACQUELIN, Inference of sampling on Weibull parameter estimation, IEEE Transactions on Dielectrics and Electrical Insulation, Dec. 1996, Vol. 3, Issue 6, pp. 809-816.
  [9] :  [PAP158]  -------
 [10] :  [PAP158]  -------
 [11] :  [PAP158]  -------

Mise à jour le lundi 10 avril 2023 à 18 h 54 - E-mail : thierry.lequeu@gmail.com
Cette page a été produite par le programme TXT2HTM.EXE, version 10.7.3 du 27 décembre 2018.

Les informations contenues dans cette page sont à usage strict de Thierry LEQUEU et ne doivent être utilisées ou copiées par un tiers.
Powered by www.google.fr, www.e-kart.fr, l'atelier d'Aurélie - Coiffure mixte et barbier, La Boutique Kit Elec Shop and www.lequeu.fr.